富樂德(301297)在互動平臺表示，目前公司已研發并量產半導體14nm制程洗凈工藝、儲備的半導體7nm部品清洗工藝已較為成熟。文章來源：證券時報）文章來源：證券時報
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產半（文章來源：證券時報）
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產半（文章來源：證券時報）
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